3月7日，由中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會和中國電子氣體生產(chǎn)與利用百人會主辦的第四屆中國電子氣體發(fā)展高峰論壇暨2024中國電子氣體百人會年度論壇在北京召開。與會專家指出，現(xiàn)階段我國電子氣體儲運裝備還存在不少技術(shù)難點，智能化、大型化、全球化將是未來發(fā)展的重要趨勢。

　　“隨著國內(nèi)半導(dǎo)體及光伏行業(yè)的快速發(fā)展及生產(chǎn)工藝的快速迭代，電子氣體儲運裝備的種類越來越多，用戶對儲運裝備運輸效率的要求也越來越高?！笔仪f安瑞科氣體機械有限公司總監(jiān)宋新海指出，當(dāng)前我國電子氣體儲運裝備發(fā)展的技術(shù)難點，主要集中在設(shè)計安全、合規(guī)使用性、氣瓶材料選用、潔凈處理、閥門國產(chǎn)化等方面。

　　“電子氣體儲運裝備的設(shè)計安全與使用安全強相關(guān)?！彼涡潞Ｅe例說，“在閥門選型方面，氧化亞氮和硅烷這兩種介質(zhì)，不管在閥門材料還是在閥門類型的選擇上，都大有不同。氧化亞氮采用手動閥門，而硅烷因泄漏到空氣就會自燃，所以必須采用‘手動+氣動’串聯(lián)的方式，才能保證介質(zhì)零泄漏。并且，硅烷在光伏行業(yè)應(yīng)用中會產(chǎn)生細微顆粒，為了減少磨損，閥座也需采用更耐磨的、使用壽命更長的材料?！?/p>

　　宋新海強調(diào)，電子氣體儲運裝備的發(fā)展應(yīng)建立在合規(guī)使用的基礎(chǔ)上。目前，國內(nèi)對10MPa以上高壓T瓶的需求越來越大，而我國TSG 23《氣瓶安全技術(shù)規(guī)程》規(guī)定，生產(chǎn)制造10MPa以上的高壓T瓶需進行“三新”技術(shù)評審。據(jù)了解，國外標準高壓T瓶已在國內(nèi)實現(xiàn)批量生產(chǎn)，生產(chǎn)技術(shù)難點已被攻克。在國內(nèi)，相關(guān)生產(chǎn)廠家也已陸續(xù)開始進行相關(guān)項目技術(shù)評審。

　　在氣瓶材料選用方面，不同介質(zhì)所選用的氣瓶材料亦不同。宋新海介紹，目前管束式集裝箱用氣瓶材料主要有4130x、4142兩種材質(zhì)，氫脆介質(zhì)(硅烷、氯化氫、磷烷氫等)選用4130x材質(zhì)，非氫脆介質(zhì)(一氧化二氮、三氟化氮、六氟化硫等)選用4142材質(zhì)。另外，在潔凈處理方面，國內(nèi)在生產(chǎn)環(huán)節(jié)，多采用拋光研磨、清洗等先進工藝，保證氣瓶內(nèi)壁潔凈度，以滿足客戶要求；在組裝環(huán)節(jié)，所有電子氣體產(chǎn)品均在潔凈室內(nèi)進行裝配，管路采用自動鎢極氬弧焊接；在檢測方環(huán)節(jié)，所有漏點均進行氦檢檢測。

　　“電子氣體沒有‘好’介質(zhì)，大多具有自燃、有毒、氧化性或腐蝕性等特性，對閥門儀表等零部件的材料、密封、壽命等要求極其苛刻。”宋新海指出，目前我國電子氣體儲運裝備領(lǐng)域閥門附件的國產(chǎn)化率還非常低，主要存在三方面問題。一是閥門材料純度不高，易存在微量泄漏，耐腐能力差。二是一些閥門壁厚均勻性差，在使用一段時間后易出現(xiàn)內(nèi)漏現(xiàn)象。三是閥門壽命較短，有的甚至才使用1年，就出現(xiàn)各種小問題。

　　談及未來電子氣體儲運裝備未來發(fā)展趨勢，宋新海認為，智能化、儲運裝備大型化、全球貿(mào)易將是重點?！爸悄芑矫?，溫度傳感器、壓力傳感器、定位裝置等智能化檢測‘神器’，將保障移動儲運裝備的使用更安全、更高效。儲運裝備大型化方面，太陽能電池新生產(chǎn)工藝帶來磷烷氫用氣量的巨大變化，使用管束式集裝箱可確保較低的交易頻率，以降低使用風(fēng)險。全球貿(mào)易方面，未來將有更多的國內(nèi)氣體銷往國外，對儲運裝備的需求將越來越多、品種越來越多樣、潔凈技術(shù)指標越來越嚴格?！彼f。

　　中國電子氣體百人會秘書長洑春干在會議上提到，中國氣體協(xié)會正積極推行電子氣體產(chǎn)業(yè)包裝、工藝及閥門等部件“安全注冊”，以推進我國電子氣體產(chǎn)業(yè)企業(yè)高質(zhì)量發(fā)展，促進國產(chǎn)化生產(chǎn)及使用。

　　據(jù)了解，前不久，石家莊安瑞科成功研制全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱并實現(xiàn)交付。該管束式集裝箱作為全國首臺針對磷烷與氫氣混合氣的專用大容積儲運裝備，不僅儲運量大，且安全性高，將大幅度降低氣體公司的運營成本。該公司于2023年投資3億元建設(shè)國內(nèi)第一條智能化、自動化、數(shù)字化高壓電子氣瓶產(chǎn)品生產(chǎn)線，有望助力半導(dǎo)體芯片及光伏等相關(guān)行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。