3月6日，高端氟塑料管路供應(yīng)商阿爾法新材料(遼寧)有限責(zé)任公司(簡(jiǎn)稱“ALFA”)在遼寧省朝陽市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)舉辦新品發(fā)布會(huì)，正式推出半導(dǎo)體級(jí)高純PFA管路產(chǎn)品。新產(chǎn)品是ALFA與科慕集團(tuán)共同協(xié)作的成果，雙方將科慕的頂級(jí)PFA原料與ALFA自主潔凈擠出技術(shù)深度融合，實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體級(jí)高純管路國(guó)內(nèi)批量投產(chǎn)，打破了國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程芯片生產(chǎn)用高純PFA管路依賴進(jìn)口的困頓局面。

　　在現(xiàn)代半導(dǎo)體芯片的先進(jìn)制程中，晶體管尺寸已經(jīng)達(dá)到了納米級(jí)別，比大多數(shù)污染顆粒還要小，任何金屬離子、微粒或化這物質(zhì)進(jìn)入晶圓表面，都可能會(huì)導(dǎo)致短路或斷路，影響電流流動(dòng)，或者蝕刻不均勻，導(dǎo)致電路結(jié)構(gòu)異常，或者晶體缺陷，影響芯片壽命。芯片制程越小，芯片越先進(jìn)。芯片越先進(jìn)，制造工藝中各維度的純凈性要求越高，關(guān)鍵工藝對(duì)高純材料的依賴就越高。高純氣體、高純水、高純濕電子化學(xué)品都需要高純PFA管路進(jìn)行輸送。高純PFA管路系統(tǒng)是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要組成部分，能有效減少污染，提高芯片良率。在先進(jìn)制程不斷發(fā)展的背景下，高純PFA管道的重要性將愈發(fā)突出，并成為提升半導(dǎo)體生產(chǎn)效率和質(zhì)量的關(guān)鍵保障。

　　中國(guó)在先進(jìn)制程芯片(如14nm、10nm、7nm、5nm、3nm及以下)制造方面，面臨諸多技術(shù)難點(diǎn)和挑戰(zhàn)。至2024年底，中國(guó)大陸地區(qū)半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)用設(shè)備、材料、關(guān)鍵零部件等整體國(guó)產(chǎn)化率不足23%。長(zhǎng)期以來，國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程所需的高純PFA管路主要依靠進(jìn)口。為了實(shí)現(xiàn)解決高純PFA管路卡脖子的問題，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化，ALFA攜手科慕，采用科慕頂級(jí)951HP Plus PFA原料制成高純PFA管路，通過了SGS實(shí)驗(yàn)室 SEMI F57測(cè)試，滿足半導(dǎo)體先進(jìn)制程的需求，在輸送液態(tài)工藝用化學(xué)品、清洗液、蝕刻液等超純化學(xué)品方面表現(xiàn)卓越。

　　ALFA董事長(zhǎng)孟凡新在發(fā)布會(huì)上表示：“在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高精度、更先進(jìn)制程的征程中，我們推出了半導(dǎo)體級(jí)高純PFA管路系統(tǒng)。我們與全球材料科學(xué)領(lǐng)軍者科慕公司深度合作，采用科慕頂級(jí)951HP Plus PFA原料，使得ALFA高純PFA管性能獲得了革命性的提升。我們將以技術(shù)為引領(lǐng)，樹立行業(yè)新標(biāo)桿，讓管路與未來同行，為中國(guó)的科技創(chuàng)新之路貢獻(xiàn)力量?！?/p>

　　ALFA高純PFA管路被譽(yù)為半導(dǎo)體產(chǎn)線的“黃金血管”，實(shí)現(xiàn)了純度等級(jí)突破：金屬離子析出量低于0.1ppb，達(dá)到SEMI F57國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，確保晶圓制造全程“零污染”。耐腐蝕性升級(jí)：可耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿及有機(jī)溶劑，在180℃高溫下性能穩(wěn)定，壽命較傳統(tǒng)產(chǎn)品提升3倍 。柔性設(shè)計(jì)優(yōu)化：內(nèi)壁光滑無死角，彎曲半徑縮小30%，適配精密設(shè)備復(fù)雜管路布局需求。