由昊華氣體有限公司與中昊光明化工研究設計院有限公司聯(lián)合主辦的主題為“新時代、新起航”的“全國特種氣體第二十六次年會”10月30日至11月1日在河南鄭州召開。來自當?shù)厥∈姓撠熑恕?/span>特種氣體業(yè)內企業(yè)家、專家學者紛紛表示，在機遇和挑戰(zhàn)面前，要與時俱進，從跟跑到并跑、最終實現(xiàn)行業(yè)領跑，切實做強做大特氣事業(yè)，為我國社會經(jīng)濟繁榮發(fā)展作出新貢獻。

氣體行業(yè)成績令人矚目

全國氣體標準化技術委員會秘書長胡迎表示，特種氣體作為現(xiàn)代工業(yè)、科技領域不可或缺的關鍵基礎材料，在電子、化工、醫(yī)療、能源等眾多行業(yè)發(fā)揮著極為重要的作用。

“過去的一段時間里，我們欣喜地看到特種氣體行業(yè)取得了諸多令人矚目的成績。無論是在新產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)工藝優(yōu)化，還是在標準制定與完善等方面，都有著長足的進步?！焙f。

中國工業(yè)氣體工業(yè)協(xié)會常務副理事長洑春干說，2020年以來，我國電子氣體行業(yè)取得了飛速發(fā)展。氣體協(xié)會、電子氣體和材料協(xié)會全力推動電子氣體國產(chǎn)化并替代進口，推動了電子氣體和材料產(chǎn)業(yè)高端化、差異化發(fā)展。

昊華化工科技集團股份有限公司副總經(jīng)理劉政良表示，近年來，國內氣體企業(yè)通過自主努力發(fā)展，大多形成了較強的主打產(chǎn)品和產(chǎn)業(yè)布局，共同加速推進了電子特氣的國產(chǎn)替代進程。

河南省工信廳二級巡視員王高潮表示，河南省特種氣體近幾年有了較快的發(fā)展。如焦作多氟多的電子氟化氫氣體、洛陽中硅高科的硅基電子化學品、昊華氣體的特種含氟電子氣體、心連心集團的高純度氫氣、二氧化碳等。

洛陽市副市長王國輝表示，洛陽市梳理確定了以電子化工材料產(chǎn)業(yè)鏈為代表的 5 大產(chǎn)業(yè)集群。其中，電子化工材料產(chǎn)業(yè)鏈規(guī)模達千億，重點依托昊華氣體、洛陽石化、中硅高科 3 家龍頭企業(yè)，在電子特氣、石油化工、高端硅基材料三個細分領域開展延鏈補鏈強鏈，特別是隨著昊華氣體的特種含氟電子氣體項目進入“萬噸級”規(guī)?；a(chǎn)新階段，助力“洛陽制造”在為“中國芯”“中國屏”補鏈中實現(xiàn)了跨越發(fā)展。

河南省石化協(xié)會常務副會長蘇東表示，河南電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展已步入快車道，建成了全國重要的智能終端產(chǎn)業(yè)集群，先進計算、光電、智能傳感器等行業(yè)在全國具有較強影響力。2024 上半年，全省電子信息產(chǎn)業(yè)增加值增長 18.7%，成為河南省制造業(yè)發(fā)展的重要引擎，總體上呈現(xiàn)強勁的發(fā)展態(tài)勢。

面臨的問題亟待解決

胡迎認為，隨著科技的飛速發(fā)展和各行業(yè)對產(chǎn)品質量、工藝精度要求的不斷提高，特種氣體的應用場景日益廣泛，其質量、性能及標準化等方面的重要性也愈發(fā)凸顯。然而，必須清醒地認識到，特種氣體行業(yè)在發(fā)展過程中仍面臨著一些亟待解決的問題，比如部分高端特種氣體仍依賴進口、產(chǎn)品質量穩(wěn)定性有待進一步提升、標準體系尚需持續(xù)優(yōu)化等。

“本次年會就是我們攜手攻克這些難題的重要契機，希望大家能夠充分利用這個平臺，群策群力，為行業(yè)的發(fā)展貢獻更多的智慧和力量。”胡迎說。

在昊華氣體有限公司首席技術官郭瓊看來，電子氣體具有品種多、用量小、質量要求苛刻、專用性強、附加值高、更新?lián)Q代快、生產(chǎn)技術復雜等特點，是以化學產(chǎn)品、工業(yè)廢氣、空氣等為原料的上游基礎化工材料行業(yè)，其供應量、價格、技術水平和質量水平對本行業(yè)均有影響。而集成電路、平板顯示、光伏太陽能等下游電子信息行業(yè)對本行業(yè)發(fā)展具有較大的牽引和驅動作用，直接決定市場狀況和發(fā)展前景。與此同時，由于工藝復雜性增加，工藝嚴苛度增加，良率收益率增加等也給工藝升級帶來一定影響，加之環(huán)保壓力帶來的影響，不同程度地影響和制約氣體行業(yè)的發(fā)展。

王高潮表示，整體來看，河南工業(yè)特氣在產(chǎn)業(yè)集中度、企業(yè)規(guī)模、中高端產(chǎn)品、創(chuàng)新能力、產(chǎn)業(yè)協(xié)同配套等方面，存在有不足和短板，都有可觀的進步空間和可期的發(fā)展前景。

為此，河南省工信廳高度重視特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，指導成立了電子化學品專業(yè)委員會，致力于推進電子化學品產(chǎn)業(yè)鏈培育相關工作。

積極探索特氣產(chǎn)業(yè)新路徑

電子氣體產(chǎn)業(yè)如何發(fā)展？“新時代特氣行業(yè)高質量可持續(xù)良性發(fā)展，是需要我們深入思考的問題。”昊華氣體有限公司總經(jīng)理、全國特種氣體信息總站理事會理事長王娟表示。

王娟說，要充分利用技術服務和信息交流平臺，集思廣益、獻言獻策，努力為我國氣體事業(yè)的發(fā)展探索出有益的新思路、新途徑。在不遠的將來，我國氣體不僅在數(shù)量上品種上取得突破，更會在質量上發(fā)生質的飛躍，中國氣體同國外先進公司的氣體研發(fā)、生產(chǎn)、檢測能力必將會進一步縮小。

郭瓊建議，氣體企業(yè)要用足用好政策支持，把半導體產(chǎn)業(yè)作為戰(zhàn)略科技力量的重點，通過把握國家部委和省市提供的政策支持和資金投入，推動企業(yè)快速發(fā)展。同時，要健全合作協(xié)同機制，在產(chǎn)學研方面，采用自主研發(fā)+委托開發(fā)的模式，解決產(chǎn)業(yè)開發(fā)和產(chǎn)業(yè)升級的瓶頸問題；在研產(chǎn)銷方面，產(chǎn)品開發(fā)和營銷銷售形成風險共擔、利益共享的一致動力。

針對特種氣體產(chǎn)業(yè)存在的工藝問題，郭瓊表示，由半導體設備企業(yè)主導，在現(xiàn)有電子氣體范圍內嘗試變更CF4應用的刻蝕工藝配方，半導體設備企業(yè)和氣體供應企業(yè)聯(lián)合，嘗試新的工藝路線和氣體供應方式，對設備、使用環(huán)境、操作流程有很大改變，但替代的必要性需要綜合考慮。同時，氣體企業(yè)應由傳統(tǒng)氣體制造供應角色向綜合服務調整轉變，與產(chǎn)業(yè)鏈上下游共筑生態(tài)環(huán)境。

劉政良表示，要加速推進電子特氣的國產(chǎn)替代進程。氣體企業(yè)要吸收先進理念和技術，更新管理理念，創(chuàng)新管理機制，加快技術創(chuàng)新和品牌建設，壯大電子特氣產(chǎn)業(yè)。

多氟多新材料股份有限公司副總經(jīng)理薛旭金表示，電子化學品體量雖然不大，但關乎國家戰(zhàn)略的“大氣候”，是支撐半導體集成電路、LED液晶顯示面板、太陽能光伏等高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關鍵要素。作為技術密集型、資金密集型產(chǎn)業(yè)，其技術開發(fā)風險大、產(chǎn)品驗證周期長、市場開拓難度高，需要不斷加大研發(fā)投入，優(yōu)化產(chǎn)品結構，提升服務質量，才能在關鍵核心技術上實現(xiàn)自主可控。特別是在電子化學品領域，企業(yè)將聚焦關鍵技術突破，加強產(chǎn)業(yè)鏈上下游的協(xié)同合作，推動產(chǎn)業(yè)向高端化、智能化、綠色化方向發(fā)展。